光刻機(jī)水冷機(jī)組定時(shí)保養(yǎng)知識(shí)須知

光刻機(jī)水冷機(jī)組定時(shí)保養(yǎng)知識(shí)須知

　　掌握調(diào)整蝕刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置運(yùn)行功率的方法，企業(yè)運(yùn)行滿足需求的前提下，控制蝕刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置的運(yùn)行功率?？刂莆g刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置處于低效率運(yùn)行狀態(tài)，能夠減少設(shè)備消耗的數(shù)量。

　　一、用電環(huán)境要好

　　想要降低蝕刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置電量，需要為蝕刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置提供優(yōu)良的用電環(huán)境。例如用電環(huán)境的電壓比較低，蝕刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置設(shè)備為保持穩(wěn)定的運(yùn)行效率，必然加大電能的消耗。

　　二、設(shè)備的運(yùn)作要提前計(jì)劃好

　　加入要維護(hù)蝕刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置的和系統(tǒng)的穩(wěn)定，那么要以前做好設(shè)備的運(yùn)作計(jì)劃，不論什么設(shè)備都要有提前的計(jì)劃，如果沒有會(huì)使機(jī)器滿負(fù)荷運(yùn)載，這就會(huì)影響到蝕刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置運(yùn)行的。

　　三、要定期的保養(yǎng)

　　對(duì)蝕刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置進(jìn)行定期的維護(hù)可以保證蝕刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置的壽命的煙瘴，不論是什么設(shè)備只要維護(hù)好了，那么設(shè)備的效能也會(huì)相應(yīng)的會(huì)減少的慢。

　　四、四周環(huán)境的影響

　　現(xiàn)在的環(huán)境對(duì)機(jī)器的影響還是比較大的，好的環(huán)境會(huì)提供機(jī)器的效能，相反則會(huì)降低機(jī)器的效能，所以好的環(huán)境對(duì)機(jī)器是有一定的影響的。

　　五、冷凝器的溫度

　　冷凝溫度的降低會(huì)是冷卻效果更好，因?yàn)樵陂_始使用的時(shí)候，冷卻塔時(shí)會(huì)有一定的裕量，所以需要加大原有的冷卻塔水，讓冷卻水的效能更好。

　　六、配置可調(diào)節(jié)線圈

蝕刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置在運(yùn)行的時(shí)候，如果運(yùn)行時(shí)間較長，能源消耗非常多。可以為蝕刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置安裝調(diào)節(jié)線圈，根據(jù)環(huán)境溫度調(diào)整適合的運(yùn)行功率。